显微锁相热成像体系微光显微镜EMMI镜用于IC芯片热门勘探器材失效剖析

  原标题：显微锁相热成像体系,微光显微镜,EMMI显微镜用于IC芯片热门勘探,器材失效剖析

  显微锁相热成像体系选用美国optotherm公司LOCK IN THERMOGRAPHY技能,运用用于IC芯片热门勘探的微光显微镜(Emission Microscope, EMMI显微镜)。大范围的运用在电路板温度散布测验,电子元器材测温，芯片热门查找定位等运用,是实验室研制,检测,IC产品规划,电路失效剖析范畴的抱负失效剖析东西。

  显微锁相热成像体系将锁相技能和热成像技能结合,具有高达1mk的超高温度分辨率,很合适uA级漏电流检测,PCBA短路热门失效剖析和IC器材缺点定位,远超于传统的温度勘探器如热敏电阻，热电偶，RTD之类的测温才能。

  显微锁相热成像体系是optotherm公司专为电子及半导体失效剖析规划的热门侦测微光显微镜，或叫着红外热成像显微镜，可以丈量PCBA及IC器材的外表及内部温度散布并显现温度散布，供给了一种快速勘探热门和热梯度的有用手法，而热门和热梯度也能显现出缺点的方位，这些方位十分简单形成功率下降和前期的失效。

  显微锁相热成像体系专为电子科技类产品FA规划，经过特别的LOCK-IN技能，运用LWIR镜头，仍能将将温度分辨率提升到0.001℃（1mK），一起光学分辨率最高到达5um,极大的提高了红外热像显微镜在电子职业FA的功能，且购买本钱及运用本钱都较低，无需漆黑环境，无需液氮，是电子科技类产品失效剖析的一大利器。

  差异于其他红外热成像产品，这套显微锁相热成像体系专门为微电子研制和制作而规划，包含了一些很重要的硬件，这些硬件关于剖析和确诊半导体器材很有用，