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奥普光电:光栅尺作为半导体设备核心部件其精度要求取决于整机技术指标需求

发布时间:2024-03-26 05:12:32   来源:小九直播下载电脑版

  金融界2月21日音讯,有投入资金的人在互动渠道向奥普光电发问:请问教师,贵司能否断定高精尺是否能用于DUV光刻机吗?超精尺用于EUV光刻机?

  公司答复表明:光栅尺是半导体设备的核心部件,其精度要求取决于整机的技术指标需求。

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